Основные источники, вызывающие загрязнения электронных изделий – это оборудование, с помощью которого они изготавливаются, собственно технологические процессы и человек. Дефекты производимого оборудования могут вызвать микроорганизмы, металлические частицы, пыль и грязь. Именно поэтому качество производственного процесса в микроэлектронике напрямую зависит от чистоты воздушной среды. Использование чистых комнат в данной отрасли позволяет добиться следующих показателей:
Изготовление микросхем осуществляется в несколько этапов, среди которых:
Каждый этап требует максимально ответственного и тщательного подхода. Наиболее высокие требования по чистоте предъявляют к выполнению операций, которые производятся с открытыми пластинами.
Чистые помещения в микроэлектронике создаются с учетом различных особенностей производства конечного продукта отрасли. Конструкция комнат обеспечивает максимальную защиту изготавливаемых изделий. Чаще всего в зонах применяется ламинарный поток воздуха, который образуется за счет фальшпола с перфорацией.
Стабильность параметров воздушной среды чистых комнат, а также определенный уровень температуры и влажности – два основных условия, которые требуется соблюдать. Для того чтобы микроклимат в помещении соответствовал определенным требованиям, устанавливают специальные системы управления и контроля, вентиляции и очистки.
Можно выделить несколько основных конструктивных элементов, использующихся при установке чистых комнат в электронной промышленности. Среди них:
